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Samsung réduit considérablement l'utilisation de la photorésistaire dans la production de NAND 3D, affectant les fournisseurs


Selon les rapports, Samsung a réduit l'utilisation de la photorésistaire épais (PR) dans son dernier processus de lithographie NAND 3D, entraînant des économies de coûts importantes.Cependant, cette décision peut affecter son fournisseur coréen Dongjin Semiconductor.

Samsung a réduit la consommation de PR pour la production de NAND 3D, réduisant la consommation de 7 à 8 cc par revêtement à 4-4,5 cc.Les analystes de l'industrie prévoient que les revenus de Dongjin Semiconductor peuvent diminuer, soulignant l'impact plus large des mesures de réduction des coûts sur la dynamique de la chaîne d'approvisionnement.

Il est rapporté que Samsung s'engage à améliorer l'efficacité du processus NAND et à réduire les coûts, et a réussi à réduire l'utilisation de la photorésistaire grâce à deux innovations clés.Premièrement, Samsung a optimisé les révolutions par minute (tr / min) et la vitesse de la machine de revêtement pendant le processus d'application, en réduisant l'utilisation de PR tout en maintenant des conditions de gravure optimales et en économisant considérablement les coûts tout en maintenant la qualité du revêtement.Deuxièmement, le processus de gravure après l'application PR a été amélioré, et bien que l'utilisation des matériaux ait été réduite, des résultats équivalents ou de meilleurs résultats peuvent encore être obtenus.

L'augmentation des couches d'empilement en 3D NAND a augmenté les coûts de production.Afin d'améliorer l'efficacité, Samsung a adopté Krf Pr dans ses NAND de 7e et 8e génération, permettant la formation de plusieurs couches dans une seule application.Bien que KRF PR soit très adapté aux processus d'empilement, sa viscosité élevée pose des défis pour le revêtement uniformité et augmente la complexité de production.La production de relations publiques implique des processus complexes, des normes de haute pureté, une recherche et un développement approfondis et des cycles de validation longs, établissant d'énormes obstacles techniques pour les nouveaux entrants sur le marché.

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